Lämpötilan vaikutus TiO2 ohutkalvon rakenteeseen atomikerroskasvatuksessa
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Sähkötekniikan korkeakoulu |
Bachelor's thesis
Electronic archive copy is available locally at the Harald Herlin Learning Centre. The staff of Aalto University has access to the electronic bachelor's theses by logging into Aaltodoc with their personal Aalto user ID. Read more about the availability of the bachelor's theses.
Authors
Date
2012
Department
Major/Subject
Sähköfysiikka
Mcode
S3025
Degree programme
Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma (EST)
Language
fi
Pages
30 s.
Series
Description
Supervisor
Turunen, MarkusThesis advisor
Perros, AlexanderKeywords
Atomikerroskasvatus, ALD, TiO2, lämpötila