Atomikerroskasvatuksen optimointi optisten interferenssisuodattimien valmistuksessa

Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Master's thesis
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Location:
P1 Ark TKK

Authors

Date

2002

Department

Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto

Major/Subject

Optoelektroniikka

Mcode

S-104

Degree programme

Language

fi

Pages

71

Series

Description

Supervisor

Tuomi, Turkka

Thesis advisor

Törnqvist, Runar

Keywords

thin-film interference filters, ohutkalvo-interferenssisuodattimet, atomic layer deposition, atomikerroskasvatus, ALD-reactor, ALD-reaktori, ALD-cycle, ALD-sykli

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120449076

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK