Mekaanisen resonaattorin toteuttaminen MHz-alueelle SOI-teknologialla

Loading...
Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Diplomityö

Date

2002

Major/Subject

Mittaustekniikka

Mcode

S-108

Degree programme

Language

fi

Pages

73

Series

Description

Supervisor

Tittonen, Ilkka

Thesis advisor

Mattila, Tomi
Oja, Aarne

Keywords

micromechanics, mikromekaniikka, resonator, resonaattori, SOI, SOI, bias-voltage, bias-jännite, RF-MEMS, RF-MEMS

Other note

Citation