Kuivasyövytys puolijohdekomponenttien valmistuksessa
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
1982
Department
Major/Subject
Elektronifysiikka
Mcode
01.69
Degree programme
Language
fi
Pages
63
Series
Description
Supervisor
Stubb, TorThesis advisor
Marjanen, LasseKeywords
puolijohdekomponenttien valmistus, kuivaprosessointi, plasmaetsaus, puolijohdekomponenttien passivointi