Characterization of internal gettering in silicon by Electron Beam Induced Current

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorVäinölä, Hele 
dc.contributor.authorHaarahiltunen, Antti
dc.contributor.departmentSähkö- ja tietoliikennetekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorSinkkonen, Juha 
dc.date.accessioned2020-12-04T15:08:26Z
dc.date.available2020-12-04T15:08:26Z
dc.date.issued2002 
dc.format.extentix + 56 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/89999
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120448834
dc.language.isofien
dc.programme.majorElektronifysiikkafi
dc.programme.mcodeS-69fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordgetteringen
dc.subject.keywordgetterointifi
dc.subject.keyworddenuded zone (DZ)en
dc.subject.keywordvirheetön vyöhykefi
dc.subject.keywordEBICen
dc.subject.keywordEBICfi
dc.subject.keyworddiffusion lengthen
dc.subject.keyworddiffuusiopituusfi
dc.titleCharacterization of internal gettering in silicon by Electron Beam Induced Currenten
dc.titleSisäisen getteroinnin karakterisointi piissä elektronisuihkun indusoiman virran avullafi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_32092
local.aalto.idinssi18820
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK