Mikromekaanisen resonaattorin suunnittelu

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorAaltonen, Lasse
dc.contributor.authorCarlstedt, Ilkka
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus
dc.date.accessioned2013-04-30T06:52:10Z
dc.date.available2013-04-30T06:52:10Z
dc.date.issued2011
dc.format.extent20 s.
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/9460
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201305162449
dc.language.isofien
dc.programmeElektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma (EST)fi
dc.programme.majorSähkötekniikkafi
dc.programme.mcodeS3026
dc.subject.keywordresonaattorifi
dc.subject.keywordsuunnitteluprosessifi
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.subject.keywordSOIfi
dc.subject.keywordsäädettävyysfi
dc.titleMikromekaanisen resonaattorin suunnittelufi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi
dc.type.ontasotBachelor's thesisen

Files