Plasmanitraus

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKorhonen, Antti
dc.contributor.authorKiiski, Otto
dc.contributor.schoolKemiantekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorForsén, Olof
dc.date.accessioned2015-06-29T10:45:38Z
dc.date.available2015-06-29T10:45:38Z
dc.date.issued2015-04-29
dc.format.extent31
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/16956
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201506303355
dc.language.isofien
dc.programmeMateriaalitekniikka MTEfi
dc.programme.majorMateriaalien prosessointifi
dc.programme.mcodeMT3002fi
dc.subject.keywordplasmanitrausfi
dc.subject.keywordplasmatypetysfi
dc.subject.keywordnitridifi
dc.subject.keyworddiffuusiokerrosfi
dc.subject.keywordwhite layerfi
dc.titlePlasmanitrausfi
dc.titlePlasm ion nitridingen
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi

Files