aalto1 untyped-item.component.html
Timantinkaltaisen hiilipinnoitteen plasma-avusteinen kasvatusprosessi
Loading...
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Master's thesis
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Location:
Authors
Date
Department
Major/Subject
Mcode
S-69
Degree programme
Language
fi
Pages
78
Series
Abstract
Tässä diplomityössä esitellään optimoitu prosessi timantinkaltaisen hiilipinnoitteen (DLC) kasvattamiseen radiotaajuusplasman avulla.
DLC:n käyttötarkoitus on toimia kulumista estävänä pinnoitteena mikroelektromekaanisissa kiihtyvyysantureissa.
Prosessiin kuuluu olennaisena osana myös kasvatuslaitteen automatisoitu puhdistus, joka optimoidaan nopeuden ja pinnoitettaville kiekoille kertyvien epäpuhtauksien suhteen.
Kirjallisuusosassa käydään läpi DLC-pinnoitteen monimutkaisen rakenteen ja kasvatusparametrien merkityksen tutkimuksessa erityisesti viime vuosina saavutettuja tuloksia.
Pinnoitteen ominaisuuksien mittausmenetelmiä arvioidaan tuotannon laadunvalvonnan kannalta, ja pinnoitteen vetypitoisuuden aiheuttamia mittausteknisiä erityispiirteitä tuodaan esille.
Puhdistus- ja kasvatusprosessin optimoinnissa hyödynnettiin tilastollista koesuunnittelua sekä muita tilastollisen analyysin työkaluja.
Mittauksissa käytettiin useita mekaanisia ja optisia menetelmiä sekä malleja, joista osa on kehitetty erityisesti DLC:tä varten.
Työn tulokset vastaavat kalvon ominaisuuksien osalta aiemmin julkaistuja tutkimuksia, joskin parametrien vaihtelualue jouduttiin pitämään melko suppealla tuotannollisuusvaatimuksen vuoksi.
Automaattisen puhdistuksen tehokkuutta saatiin parannettua huomattavasti, ja epäpuhtauksien määrä aleni noin 98 %.