Timantinkaltaisen hiilipinnoitteen plasma-avusteinen kasvatusprosessi
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2003
Department
Major/Subject
Elektronifysiikka
Mcode
S-69
Degree programme
Language
fi
Pages
78
Series
Abstract
Tässä diplomityössä esitellään optimoitu prosessi timantinkaltaisen hiilipinnoitteen (DLC) kasvattamiseen radiotaajuusplasman avulla. DLC:n käyttötarkoitus on toimia kulumista estävänä pinnoitteena mikroelektromekaanisissa kiihtyvyysantureissa. Prosessiin kuuluu olennaisena osana myös kasvatuslaitteen automatisoitu puhdistus, joka optimoidaan nopeuden ja pinnoitettaville kiekoille kertyvien epäpuhtauksien suhteen. Kirjallisuusosassa käydään läpi DLC-pinnoitteen monimutkaisen rakenteen ja kasvatusparametrien merkityksen tutkimuksessa erityisesti viime vuosina saavutettuja tuloksia. Pinnoitteen ominaisuuksien mittausmenetelmiä arvioidaan tuotannon laadunvalvonnan kannalta, ja pinnoitteen vetypitoisuuden aiheuttamia mittausteknisiä erityispiirteitä tuodaan esille. Puhdistus- ja kasvatusprosessin optimoinnissa hyödynnettiin tilastollista koesuunnittelua sekä muita tilastollisen analyysin työkaluja. Mittauksissa käytettiin useita mekaanisia ja optisia menetelmiä sekä malleja, joista osa on kehitetty erityisesti DLC:tä varten. Työn tulokset vastaavat kalvon ominaisuuksien osalta aiemmin julkaistuja tutkimuksia, joskin parametrien vaihtelualue jouduttiin pitämään melko suppealla tuotannollisuusvaatimuksen vuoksi. Automaattisen puhdistuksen tehokkuutta saatiin parannettua huomattavasti, ja epäpuhtauksien määrä aleni noin 98 %.Description
Supervisor
Kuivalainen, PekkaThesis advisor
Mutikainen, RistoKeywords
diamond-like-carbon, timantinkaltainen hiili, DLC, DLC, PECVD, PECVD, nanoindentation, nanoindentointi