Nanolitografia

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKakko, Joona-Pekko
dc.contributor.authorAalto, Mikael
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus
dc.date.accessioned2015-06-24T09:56:55Z
dc.date.available2015-06-24T09:56:55Z
dc.date.issued2015-05-06
dc.format.extent26
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/16820
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201506303339
dc.language.isofien
dc.programmeElektroniikka ja sähkötekniikka ESTfi
dc.programme.majorElektroniikkafi
dc.programme.mcodeS3027fi
dc.subject.keywordnanofi
dc.subject.keywordlitografiafi
dc.subject.keywordääriultraviolettifi
dc.subject.keywordelektronisuihkufi
dc.subject.keywordnanopainatusfi
dc.titleNanolitografiafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi

Files

Collections

[kand] Sähkötekniikan korkeakoulu / ELEC