Mikromekaanisen resonaattorirakenteen ohjaus ohjelmoitavaan logiikkapiiriin perustuvalla järjestelmällä
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Kemppainen, Kalevi
Date
2009
Department
Major/Subject
Elektronifysiikka
Mcode
S-69
Degree programme
Language
fi
Pages
65
Series
Abstract
Tämä diplomityö käsittelee mikromekaanisen kulmanopeusanturielementin liikkeen ohjaukseen käytettävän ohjelmoitavaan logiikkapiiriin perustuvan testausjärjestelmän kehittämistä ja toteuttamista. Järjestelmä on kehitetty VTI Technologies:lla toteuttaen uuden tyyppinen testausjärjestelmä ja sen tarkoitus on korvata nykyisin käytössä oleva monilta osin rajoittunut testausjärjestelmä. Teoriaosuudessa esitellään kaksiakselisen kulmanopeusanturielementin rakenne, toimintaperiaate ja elementin toimintaan vaikuttavat epäideaalisuudet. Lisäksi tarkastellaan erilaisia vaihtoehtoisia resonaattorirakenteen ohjausmenetelmiä. Testausjärjestelmän rakenne ja ohjelmiston toiminta käydään läpi. Ohjelmiston oleellisimmat rakennelohkot ja toteutus esitellään yksityiskohtaisesti. Lisäksi esitellään ohjelmointiin käytetyn ohjelmointikielen perusteet. Toteutetun testausjärjestelmän toimintaa on verrattu käytössä olevaan testausjärjestelmään. Järjestelmän ohjelmallista muokattavuutta on havainnollistettu karakterisoimalla korkeampien taajuusalueiden liikemoodeja sekä mittaamalla epälineaarisia jousivakioita. Järjestelmän mittauskyvykkyys on todettu riittäväksi, jotta sillä voidaan tulevaisuudessa korvata nykyinen nykyinen testausjärjestelmä.Description
Supervisor
Kuivalainen, PekkaThesis advisor
Partanen, MikkoKeywords
MEMS, MEMS, angular rate sensor element, kulmanopeusanturielementti, FPGA, FPGA, feedback loop, takaisinkytkentäsilmukka, testing system, testausjärjestelmä