aalto1 untyped-item.component.html

Suojauksen vaikutus kapasitiivisen paineanturin suorituskykyyn

Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Master's thesis
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Location:

Authors

Date

2005

Department

Materiaalitekniikan osasto

Major/Subject

Elektroniikan valmistustekniikka

Mcode

S-113

Degree programme

Language

fi

Pages

106

Series

Abstract

Tämä opinnäytetyö tehtiin osana VTI Technologies Oy:n paineanturikomponentin tuotekehitysprojektia. Työn tavoitteena oli perehtyä paineanturin toimintaan, MID-tekniikkaan ja dielektrisyysvakion teoreettiseen taustaan sekä määrittää uuteen paineanturikomponenttiin sopiva suojaus. Suojamateriaalin vaatimuksina ovat tuotannollisuus ja mekaaninen soveltuvuus komponenttiin, johon ei asenneta erillistä kantta. Kotelointikokonaisuuden on taattava riittävän hyvä suorituskyky paineanturille. Työn kirjallisuusosassa käsitellään kapasitiivisen paineanturin toimintaa ja MID-tekniikkaa. Kirjallisuusosiossa perehdytään myös materiaalien polarisoitumiseen ja niiden dielektrisyysvakion käyttäytymiseen erilaisissa olosuhteissa. Keskeisenä asiana kokeellisessa osiossa on ominaisuuksiltaan erilaisten suojamateriaalien soveltuvuuden testaaminen paineanturin suojaukseen. Suoritetun koesarjan tuloksien perusteella pyrittiin löytämään paineanturin suorituskykyyn vaikuttavia suojaustekijöitä. Kokeilla pyrittiin selvittämään myös suojamateriaalin aiheuttamia hajakapasitansseja paineanturielementin ympärillä. Työstä saadut tulokset osoittavat suojamateriaalin kovuudella olevan vaikutusta paineanturin suorituskykyyn. Paineanturielementin paineherkän kalvorakenteen ympärillä oleva suojamateriaali heikentää mekaanisten rasitusten vuoksi anturin suorituskykyä. Kirjallisuusosan dielektrisyysvakion teoreettiseen taustaan perehtyminen antaa hyvän pohjan anturielementin pinnalle muodostuvien hajakapasitanssien lisätutkimuksille sekä suojamateriaalien polarisoitumisen perusteellisimmille tutkimuksille.

Description

Supervisor

Kivilahti, Jorma

Thesis advisor

Syrjänen, Teppo
Turunen, Markus

Keywords

MEMS, MEMS, pressure sensor, paineanturi, MID, MID, polarization, polarisoituminen, dielectric constant, dielektrisyysvakio

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120452176

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By