Sensitivity analysis of silicon capasitive micromechanical angular rate sensor

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorTörmälehto, Kimmo 
dc.contributor.authorRauhamaa, Suvi
dc.contributor.departmentMateriaalitekniikan laitosfi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorHannula, Simo-Pekka 
dc.date.accessioned2020-12-05T15:07:07Z
dc.date.available2020-12-05T15:07:07Z
dc.date.issued2009 
dc.format.extent96 + [39] 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/97193
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120556027
dc.language.isofien
dc.programme.majorMateriaalitiedefi
dc.programme.mcodeMT-45fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordMEMSen
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.subject.keywordangular rate sensoren
dc.subject.keywordkulmanopeusanturifi
dc.subject.keywordsensitivityen
dc.subject.keywordherkkyysfi
dc.subject.keywordscale factoren
dc.subject.keywordluotettavuustestausfi
dc.subject.keywordreliability testingen
dc.titleSensitivity analysis of silicon capasitive micromechanical angular rate sensoren
dc.titleKapasitiivisen piipohjaisen värähtelevän mikromekaanisen kulmanopeusanturin herkkyysanalyysifi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_43915
local.aalto.idinssi45167
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK