Developing and implementing a prototype of a roll to roll atomic layer deposition tool

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKilpi, Väinö 
dc.contributor.authorLaine, Risto
dc.contributor.departmentKoneenrakennustekniikan laitosfi
dc.contributor.schoolInsinööritieteiden korkeakoulufi
dc.contributor.schoolSchool of Engineeringen
dc.contributor.supervisorEkman, Kalevi 
dc.date.accessioned2020-12-28T15:30:13Z
dc.date.available2020-12-28T15:30:13Z
dc.date.issued2013 
dc.format.extent(9) + 112 s. + liitt. 3 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/101235
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020122860066
dc.language.isofien
dc.programme.majorKoneensuunnitteluoppifi
dc.programme.mcodeKon-41fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordroll to rollen
dc.subject.keywordaldfi
dc.subject.keywordatomic layer depositionen
dc.subject.keywordrullalta rullallefi
dc.subject.keywordatomikerroskasvatusfi
dc.titleDeveloping and implementing a prototype of a roll to roll atomic layer deposition toolen
dc.titleRullalta rullalle atomikerroskasvatuslaitteiston prototyypin suunnittelu ja toteutusfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_12958
local.aalto.idinssi55445
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Insinööritieteiden korkeakoulu / ENG