Rullalta rullalle atomikerroskasvatuslaitteiston prototyypin suunnittelu ja toteutus
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
School of Engineering |
Master's thesis
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2013
Department
Major/Subject
Koneensuunnitteluoppi
Mcode
Kon-41
Degree programme
Language
fi
Pages
(9) + 112 s. + liitt. 3
Series
Description
Supervisor
Ekman, KaleviThesis advisor
Kilpi, VäinöKeywords
roll to roll, ald, atomic layer deposition, rullalta rullalle, atomikerroskasvatus