Rapid thermal processing of multicrystalline silicon solar cells
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2000
Department
Major/Subject
Elektronifysiikka
Mcode
S-69
Degree programme
Language
en
Pages
59
Series
Abstract
Tämän diplomityön aiheena oli käyttää Teknillisen Korkeakoulun Mikroelektroniikkakeskuksen RTP-laitteistoa monikidepii-aurinkokennojen valmistukseen. Aluksi esitellään RTP-laitteisto ja sen ominaisuudet, jotka ovat sen käytön kannalta oleellisia. Lisäksi esitellään RTP-prosessoinnin teoria keskittyen seikkoihin, jotka ovat tekemisissä aurinkokennojen valmistuksen kanssa. Kolmas kappale antaa yleiskuvan aurinkokennoteoriasta. Riittävän teoreettisen taustan takaamiseksi keskeiset mallit ja matemaattiset kaavat esitellään. Teoreettista lähestymistapaa käytetään myös aurinkokennojen hyötysuhteeseen vaikuttavien tekijöiden selittämiseen. Seuraavaksi esitellään aurinkokennojen valmistus, käsittäen raaka-ainemateriaalin ominaisuudet sekä kuvauksen käytetyistä laitteista. Myös kaikkein tärkeimmät prosessiparametrit on esitetty. Samoin selitetään fysikaaliset ilmiöt, joiden ymmärtäminen on olennaista tietyn prosessointivaiheen kannalta. Lopuksi esitellään valmistetuista aurinkokennoista saadut tulokset. Jokaisesta kennosta mitattiin virtajännite ominaisuudet keinoauringon avulla TKK:n Elektronifysiikan laboratoriossa. Joillekin aurinkokennoille tehtiin myös spektrivaste- ia elinaikamittaukset.Description
Supervisor
Kuivalainen, PekkaThesis advisor
Härkönen, JaakkoKeywords
solar cells, aurinkokennot, rapid thermal processing, RTP, multicrystalline silicon, monikidepii