Kalvoresistien käyttö litografiassa

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorFranssila, Sami
dc.contributor.authorRantataro, Samuel
dc.contributor.schoolKemiantekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorRautkari, Lauri
dc.date.accessioned2017-10-17T09:11:33Z
dc.date.available2017-10-17T09:11:33Z
dc.date.issued2017-09-15
dc.format.extent48
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/28379
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201710177239
dc.language.isofien
dc.programmeKemiantekniikan kandidaattiohjelmafi
dc.programme.majorMateriaalitiede ja -tekniikkafi
dc.programme.mcodeCHEM3013fi
dc.subject.keywordkalvoresistifi
dc.subject.keywordfotoresistifi
dc.subject.keywordlitografiafi
dc.subject.keywordmikromuokkausfi
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.subject.keywordmikrofluidistiikkafi
dc.titleKalvoresistien käyttö litografiassafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
Rantataro_Samuel_2017.pdf
Size:
5.15 MB
Format:
Adobe Portable Document Format

Collections

[kand] Kemian tekniikan korkeakoulu / CHEM