Development of a PECVD Grown Passivating and Antireflecting Silicon Nitride Coating for Crystalline Silicon Solar Cells

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.authorNybergh, Kjell
dc.contributor.departmentSähkö- ja tietoliikennetekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorSinkkonen, Juha 
dc.date.accessioned2021-04-14T18:38:25Z
dc.date.available2021-04-14T18:38:25Z
dc.date.issued1999 
dc.format.extent126 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/105926
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-202104145216
dc.language.isoenen
dc.programme.majorElektronifysiikkafi
dc.programme.mcodeS-69fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordantireflecting coatingen
dc.subject.keywordantireflekterande filmasv
dc.subject.keywordARCen
dc.subject.keywordARCsv
dc.subject.keywordpassivatingen
dc.subject.keywordkiselnitridsv
dc.subject.keywordPECVDen
dc.subject.keywordpassiverandesv
dc.subject.keywordPlasma Enhanced Chemical Vapor Deposi`en
dc.subject.keywordPECVDsv
dc.subject.keywordsilicon nitrideen
dc.subject.keywordSiNen
dc.titleDevelopment of a PECVD Grown Passivating and Antireflecting Silicon Nitride Coating for Crystalline Silicon Solar Cellsen
dc.titlePECVD:ssä kasvatetun passivoivan ja heijastusta estävän piinitridikalvon kehittäminen kidepiiaurinkokennoja vartenfi
dc.titleUtveckling av en passiverande och antireflekterande kiselnitridfilm odlad med PECVD på kristallina kiselsolcellersv
dc.type.okmG3 Lisensiaatintutkimus 
dc.type.ontasotLicentiate thesisen
dc.type.ontasotLisensiaatintyöfi
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_36052
local.aalto.idinssi14691
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[lic] Teknillinen korkeakoulu / TKK