Resin filling in nanoimprint lithography for producing surface relief grating couplers

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorFranssila, Sami
dc.contributor.authorTupala, Arttu
dc.contributor.schoolPerustieteiden korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorMartikainen, Jani-Petri
dc.date.accessioned2022-09-27T08:10:57Z
dc.date.available2022-09-27T08:10:57Z
dc.date.issued2022-09-12
dc.format.extent22
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/116938
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-202209275735
dc.language.isoenen
dc.programmeTeknistieteellinen kandidaattiohjelmafi
dc.programme.majorTeknillinen fysiikkafi
dc.programme.mcodeSCI3028fi
dc.subject.keywordUV-NILen
dc.subject.keywordSRGen
dc.subject.keywordfilling behaviouren
dc.titleResin filling in nanoimprint lithography for producing surface relief grating couplersen
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi

Files

Collections

[kand] Perustieteiden korkeakoulu / SCI