Designing the vacuum chamber of ALD reactor

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKarjalainen, Veli-Matti 
dc.contributor.authorPoutiainen, Juho
dc.contributor.departmentKoneenrakennustekniikan laitosfi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorJuhanko, Jari 
dc.date.accessioned2020-12-05T14:34:24Z
dc.date.available2020-12-05T14:34:24Z
dc.date.issued2009 
dc.format.extent(8) + 81 s. + liitt. 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/96569
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120555403
dc.language.isofien
dc.programme.majorKoneensuunnitteluoppifi
dc.programme.mcodeKon-41fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordthin-filmsen
dc.subject.keywordohutkalvopinnoitusfi
dc.subject.keywordvacuumen
dc.subject.keywordtyhjiötekniikkafi
dc.subject.keywordAtomic layer depositionen
dc.subject.keywordALDfi
dc.titleDesigning the vacuum chamber of ALD reactoren
dc.titleALD-reaktorin vakuumikammion suunnittelufi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_13045
local.aalto.idinssi37756
local.aalto.openaccessno
Files
Collections
[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK