ALD-reaktorin vakuumikammion suunnittelu
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2009
Department
Major/Subject
Koneensuunnitteluoppi
Mcode
Kon-41
Degree programme
Language
fi
Pages
(8) + 81 s. + liitt.
Series
Description
Supervisor
Juhanko, JariThesis advisor
Karjalainen, Veli-MattiKeywords
thin-films, ohutkalvopinnoitus, vacuum, tyhjiötekniikka, Atomic layer deposition, ALD