Entalpiasondin kehittäminen lämpötilanmittauksiin RF-plasmaympäristössä

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.authorKostiainen, Petteri
dc.contributor.departmentProsessi- ja materiaalitekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorHolappa, Lauri 
dc.date.accessioned2020-12-03T17:07:07Z
dc.date.available2020-12-03T17:07:07Z
dc.date.issued1992 
dc.format.extent49 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/82247
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120341085
dc.language.isofien
dc.programme.majorMetallurgiafi
dc.programme.mcodeMak-37fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.titleEntalpiasondin kehittäminen lämpötilanmittauksiin RF-plasmaympäristössäfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_40602
local.aalto.idinssi43831
local.aalto.openaccessno
Files
Collections
[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK