Mikroelektromekaaniset kiihtyvyysanturit
| dc.contributor | Aalto-yliopisto | fi |
| dc.contributor | Aalto University | en |
| dc.contributor.advisor | Kiviluoma, Panu | |
| dc.contributor.author | Smolander, Mikko | |
| dc.contributor.school | Insinööritieteiden korkeakoulu | fi |
| dc.contributor.supervisor | Pietola, Matti | |
| dc.date.accessioned | 2018-06-05T12:09:46Z | |
| dc.date.available | 2018-06-05T12:09:46Z | |
| dc.date.issued | 2017-12-03 | |
| dc.format.extent | 25 | |
| dc.format.mimetype | application/pdf | en |
| dc.identifier.uri | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/31671 | |
| dc.identifier.urn | URN:NBN:fi:aalto-201806053094 | |
| dc.language.iso | fi | en |
| dc.programme | Insinööritieteiden kandidaattiohjelma | fi |
| dc.programme.major | Kone- ja rakennustekniikka | fi |
| dc.programme.mcode | ENG3043 | fi |
| dc.subject.keyword | MEMS | fi |
| dc.subject.keyword | mikroelektromekaaninen | fi |
| dc.subject.keyword | kiihtyvyysanturi | fi |
| dc.subject.keyword | pintamikrotyöstö | fi |
| dc.subject.keyword | bulk-mikrotyöstö | fi |
| dc.subject.keyword | pietsosähköinen | fi |
| dc.title | Mikroelektromekaaniset kiihtyvyysanturit | fi |
| dc.title | Microelectromechanical acceleration sensors | en |
| dc.type | G1 Kandidaatintyö | fi |
| dc.type.dcmitype | text | en |
| dc.type.ontasot | Bachelor's thesis | en |
| dc.type.ontasot | Kandidaatintyö | fi |