Galliumnitridin kasvatus galliumarsenidin päälle
No Thumbnail Available
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Author
Date
2002
Department
Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Major/Subject
Optoelektroniikka
Mcode
S-104
Degree programme
Language
fi
Pages
61
Series
Description
Supervisor
Lipsanen, HarriThesis advisor
Toivonen, JuhaKeywords
gallium nitride, galliumnitridi, gallium arsenide, galliumarsenidi, MOVPE, MOVPE, cubic, kuutiollinen, superlattice, superhila, nuclear layer, ydintymiskerros, AFM, AFM, dimethylhydrazine, dimetyylihydratsiini, thermal annealing, lämpökäsittely