Charging effects in capacitive MEMS

Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author

Authors

Date

2004

Department

Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto

Major/Subject

Mittaustekniikka

Mcode

S-108

Degree programme

Language

en

Pages

ix + 102

Series

Abstract

Tässä työssä tutkittiin varautumisilmiötä ja niistä johtuvia läpilyöntejä kapasitiivisissa MEMS (micro-electro-mechanical structures) rakenteissa. Työssä tutkittiin myös kirjallisuusselvityksenä erilaisia mikromekaanisten rakenteiden kuvaamis- ja analysointimenetelmiä, joita voitaisiin mahdollisesti käyttää lisätiedon hankkimiseksi läpilyönti-ilmiöistä. Teoriaosiossa käydään läpi läpilyönti-ilmiöön liittyvät oleelliset näkökohdat ja yritetään luoda kokonaiskuva rakenteissa vaikuttavista ilmiöistä nykytiedon valossa. Myös viimeisimmät hypoteesit läpilyöntiprosessin syille ja läpilyönnin etenemiselle on pyritty esittämään. Työssä mitattiin useiden kapasitiivisten paineantureiden virtajännite-käyttäytymistä. Mittauksista voitiin todeta emissio-ilmiö kyseisissä rakenteissa ennen läpilyöntiä ja läpilyönnin aiheuttama materiaalin kasaantuminen/siirtyminen. Mittauksissa tutkittiin myös polariteetin vaikutusta emissioon ja läpilyöntiin, läpilyönnin ennakointia ja emissiovirtaa.

Description

Supervisor

Tittonen, Ilkka

Thesis advisor

Koskenvuori, Mika

Keywords

capacitive sensor, mikromekaniikka, electrical breakdown, emissio, emission, läpilyönti, MEMS, tyhjiöläpilyönti, microgap, kapasitiivinen anturi, vacuum breakdown, pienet etäisyydet

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120451068

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK