Charging effects in capacitive MEMS

No Thumbnail Available
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology | Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Date
2004
Major/Subject
Mittaustekniikka
Mcode
S-108
Degree programme
Language
en
Pages
ix + 102
Series
Abstract
Tässä työssä tutkittiin varautumisilmiötä ja niistä johtuvia läpilyöntejä kapasitiivisissa MEMS (micro-electro-mechanical structures) rakenteissa. Työssä tutkittiin myös kirjallisuusselvityksenä erilaisia mikromekaanisten rakenteiden kuvaamis- ja analysointimenetelmiä, joita voitaisiin mahdollisesti käyttää lisätiedon hankkimiseksi läpilyönti-ilmiöistä. Teoriaosiossa käydään läpi läpilyönti-ilmiöön liittyvät oleelliset näkökohdat ja yritetään luoda kokonaiskuva rakenteissa vaikuttavista ilmiöistä nykytiedon valossa. Myös viimeisimmät hypoteesit läpilyöntiprosessin syille ja läpilyönnin etenemiselle on pyritty esittämään. Työssä mitattiin useiden kapasitiivisten paineantureiden virtajännite-käyttäytymistä. Mittauksista voitiin todeta emissio-ilmiö kyseisissä rakenteissa ennen läpilyöntiä ja läpilyönnin aiheuttama materiaalin kasaantuminen/siirtyminen. Mittauksissa tutkittiin myös polariteetin vaikutusta emissioon ja läpilyöntiin, läpilyönnin ennakointia ja emissiovirtaa.
Description
Supervisor
Tittonen, Ilkka
Thesis advisor
Koskenvuori, Mika
Keywords
capacitive sensor, mikromekaniikka, electrical breakdown, emissio, emission, läpilyönti, MEMS, tyhjiöläpilyönti, microgap, kapasitiivinen anturi, vacuum breakdown, pienet etäisyydet
Other note
Citation