Lämpötilan vaikutus TiO2 ohutkalvon rakenteeseen atomikerroskasvatuksessa

 |  Login

Show simple item record

dc.contributor Aalto-yliopisto fi
dc.contributor Aalto University en
dc.contributor.advisor Perros, Alexander
dc.contributor.author Kilpi, Olli-Pekka
dc.date.accessioned 2013-04-30T10:21:53Z
dc.date.available 2013-04-30T10:21:53Z
dc.date.issued 2012
dc.identifier.uri https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/9889
dc.format.extent 30 s.
dc.format.mimetype application/pdf
dc.language.iso fi en
dc.title Lämpötilan vaikutus TiO2 ohutkalvon rakenteeseen atomikerroskasvatuksessa fi
dc.type G1 Kandidaatintyö fi
dc.contributor.school Sähkötekniikan korkeakoulu fi
dc.subject.keyword Atomikerroskasvatus fi
dc.subject.keyword ALD fi
dc.subject.keyword TiO2 fi
dc.subject.keyword lämpötila fi
dc.identifier.urn URN:NBN:fi:aalto-201305162877
dc.type.dcmitype text en
dc.programme.major Sähköfysiikka fi
dc.programme.mcode S3025
dc.type.ontasot Kandidaatintyö fi
dc.type.ontasot Bachelor's thesis en
dc.contributor.supervisor Turunen, Markus
dc.programme Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma (EST) fi


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search archive


Advanced Search

article-iconSubmit a publication

Browse

My Account