Title: | Deposition and characterization of aluminum nitride thin films for piezoelectric MEMS Alumiininitridi ohutkalvojen kasvatus ja karakterisointi pietsosähköisiin MEMS sovelluksiin |
Author(s): | Österlund, Elmeri |
Date: | 2020 |
Language: | en |
Pages: | 98 + app. 72 |
Department: | Sähkötekniikan ja automaation laitos Department of Electrical Engineering and Automation |
ISBN: | 978-952-64-0179-9 (electronic) 978-952-64-0178-2 (printed) |
Series: | Aalto University publication series DOCTORAL DISSERTATIONS, 207/2020 |
ISSN: | 1799-4942 (electronic) 1799-4934 (printed) 1799-4934 (ISSN-L) |
Supervising professor(s): | Paulasto-Kröckel, Mervi, Prof., Aalto University, Department of Electrical Engineering and Automation, Finland |
Thesis advisor(s): | Suihkonen, Sami, Dr., Aalto University, Finland |
Subject: | Electrical engineering |
Keywords: | aluminum nitride, aluminum scandium nitride, atomic force microscopy, atomic layer deposition, conformal coverage, crystal quality, Fourier transform infrared spectroscopy, mechanical properties, alumiininitridi, alumiiniskandiumnitridi, atomikerroskasvatus, atomivoimamikroskopia, Fourier-muunnosinfrapunaspektroskopia, jäännösjännitys, kidelaatu, konformaalinen peitto |
Archive | yes |
|
|
Abstract:Pietsosähköisen aktuaation ja havainnoinnin käyttö parantaisi monien mikroelektromekaanisiin järjestelmiin (engl. microelectromechanical system, MEMS) perustuvien antureiden, kuten inertiamittausyksiköissä käytettävien gyroskooppien, suorituskykyä. Mitatakseen liikettä kolmen akselin suhteen, inertiaaliset MEMS-anturit, etenkin gyroskoopit, vaativat myös pinnan suuntaista aktuaatiota ja havainnointia kohtisuoran lisäksi. Tehokas pietsosähköinen toteutus edellyttää korkean kidelaadun materiaalin kasvatusta pinnan suuntaisesti liikkuvien MEMS-rakenteiden pystysuorille sivuseinille. Tällä hetkellä käytetyillä ohutkalvojen kasvatus- ja prosessointimenetelmillä ei ole riittävää konformaalista peittoa tällaisilla rakenteilla. |
|
Parts:[Publication 1]: Elmeri Österlund, Jere Kinnunen, Ville Rontu, Altti Torkkeli, Mervi Paulasto-Kröckel. Mechanical properties and reliability of aluminum nitride thin films. Journal of Alloys and Compounds, 772, 306–313, January 2019. Full text in Acris/Aaltodoc: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201810245511. DOI: 10.1016/j.jallcom.2018.09.062 View at Publisher [Publication 2]: Elmeri Österlund, Sami Suihkonen, Glenn Ross, Altti Torkkeli, Heikki Kuisma, Mervi Paulasto-Kröckel. Metalorganic chemical vapor deposition of aluminum nitride on vertical surfaces. Journal of Crystal Growth, 531, 125345, October 2019. Full text in Acris/Aaltodoc: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-202001021335. DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2019.125345 View at Publisher [Publication 3]: Elmeri Österlund, Glenn Ross, Miguel A. Caro, Andreas Hollmann, Manuela Klaus, Matthias Meixner, Panu Koppinen, Agnė Žukauskaitė, Michal Trebla, Tuomas Pensala, Christoph Genzel, Mervi Paulasto-Kröckel. Stability and residual stresses of sputtered wurtzite AlScN thin films. 14 pages, Submitted for publication, May 2020[Publication 4]: Elmeri Österlund, Heli Seppänen, Kristina Bespalova, Ville Miikkulainen, Mervi Paulasto-Kröckel. Atomic layer deposition of high-quality AlN on vertical sidewalls using atomic layer annealing. 29 pages, Submitted for publication, August 2020 |
|
|
Unless otherwise stated, all rights belong to the author. You may download, display and print this publication for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Page content by: Aalto University Learning Centre | Privacy policy of the service | About this site