Perros, Alexander; Bosund, Markus; Sajavaara, Timo; Laitinen, Mikko; Sainiemi, Lauri; Huhtio, Teppo; Lipsanen, Harri
(American Vacuum Society, 2012)
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films,
Volume 30, Issue 1
Sähkötekniikan korkeakoulu