Learning Centre

Plasman käyttö atomikerroskasvatuksessa

 |  Login

Show simple item record

dc.contributor Aalto-yliopisto fi
dc.contributor Aalto University en
dc.contributor.advisor Bosund, Markus
dc.contributor.author Ervasti, Samuli
dc.date.accessioned 2012-10-09T09:58:50Z
dc.date.available 2012-10-09T09:58:50Z
dc.date.issued 2008
dc.identifier.uri https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/5636
dc.format.extent 17 + 4 s.
dc.format.mimetype application/pdf
dc.language.iso fi en
dc.title Plasman käyttö atomikerroskasvatuksessa fi
dc.type G1 Kandidaatintyö fi
dc.contributor.school Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta fi
dc.subject.keyword Plasma fi
dc.subject.keyword Atomikerroskasvatus fi
dc.subject.keyword ALD fi
dc.subject.keyword Plasmakäyttöinen atomikerroskasvatus fi
dc.subject.keyword PEALD fi
dc.identifier.urn URN:NBN:fi:aalto-201305166173
dc.type.dcmitype text en
dc.programme.major Elektroniikka fi
dc.programme.mcode S3027
dc.type.ontasot Kandidaatintyö fi
dc.type.ontasot Bachelor's thesis en
dc.contributor.supervisor Heine, Pirjo
dc.programme Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma (EST) fi


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search archive


Advanced Search

article-iconSubmit a publication

Browse