MEMS-based AC voltage reference

 |  Login

Show simple item record

dc.contributor Aalto-yliopisto fi
dc.contributor Aalto University en
dc.contributor.advisor Manninen, Antti
dc.contributor.advisor Immonen, Pekka
dc.contributor.author Saali, Aapo
dc.date.accessioned 2016-12-22T11:08:01Z
dc.date.available 2016-12-22T11:08:01Z
dc.date.issued 2016-12-12
dc.identifier.uri https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/23920
dc.description.abstract In this thesis, the focus is on a microelectromechanical system (MEMS) based AC voltage reference implemented with digital control electronics. In the theory part, the working principle of the MEMS-based AC voltage reference is described. The voltage reference is based on the pull-in voltage of the MEMS-capacitor. The voltage over the capacitor plates at the pull-in point is stable over time and, therefore, can be used as a reference voltage. The MEMS-capacitor is kept in the pull-in point by using charge control. In measurements and results, the focus is on finding and solving the stability issues that the device has. Temperature, pressure, and humidity dependencies, and the issues with insulation and grounding of the measurement electronics are covered. These issues affect the stability of the reference voltage and, therefore, need to be addressed. en
dc.description.abstract Tässä työssä keskityttiin mikroelektromekaaniseen systeemiin (MEMS) pohjautuvaan vaihtojännitereferenssiin. Teoriaosuudessa käydään läpi MEMS jännitereferenssin toimintaperiaate. Jännitereferenssin toiminta perustuu MEMS-kondensaattorin pull-in-jännitteeseen. Pull-in-pisteessä kondensaattorin levyjen välinen jännite pysyy vakiona ajan suhteen, jolloin tätä jännitettä voidaan näin ollen käyttää referenssijännitteenä. MEMS-kondensaattoria pidetään pull-in-pisteessä virtaohjauksen avulla, joka on toteutettu käyttäen digitaalielektroniikkaa. Mittauksissa keskitytään referenssin jännitteen stabiilisuuteen vaikuttaviin ympäristötekijöihin, kuten lämpötila-, paine- ja ilmankosteusriippuvuuteen. Lisäksi tarkastellaan elektroniikan maadoitusongelmia ja eristämistä, jotka vaikuttavat referenssijännitteen stabiilisuuteen. fi
dc.format.extent 59+9
dc.format.mimetype application/pdf en
dc.language.iso en en
dc.title MEMS-based AC voltage reference en
dc.title MEMSiin perustuva vaihtojännitereferenssi fi
dc.type G2 Pro gradu, diplomityö fi
dc.contributor.school Sähkötekniikan korkeakoulu fi
dc.subject.keyword voltage reference en
dc.subject.keyword MEMS en
dc.subject.keyword current-driven system en
dc.subject.keyword metrology en
dc.subject.keyword accelerometer en
dc.identifier.urn URN:NBN:fi:aalto-201612226213
dc.programme.major Micro and Nanosciences fi
dc.programme.mcode S3037 fi
dc.type.ontasot Master's thesis en
dc.type.ontasot Diplomityö fi
dc.contributor.supervisor Tittonen, Ilkka
dc.programme NanoRad - Master’s Programme in Nano and Radio Sciences (TS2013) fi
dc.location P1 fi


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search archive


Advanced Search

article-iconSubmit a publication

Browse

My Account