Silicon-based surface micromachined interferometers for infrared wavelengths

 |  Login

Show simple item record

dc.contributor Aalto-yliopisto fi
dc.contributor Aalto University en
dc.contributor.advisor Franssila, Sami, Prof., Aalto University, Department of Materials Science and Engineering, Finland
dc.contributor.author Tuohiniemi, Mikko
dc.date.accessioned 2015-05-19T09:02:19Z
dc.date.available 2015-05-19T09:02:19Z
dc.date.issued 2015
dc.identifier.isbn 978-952-60-6178-8 (electronic)
dc.identifier.isbn 978-952-60-6177-1 (printed)
dc.identifier.issn 1799-4942 (electronic)
dc.identifier.issn 1799-4934 (printed)
dc.identifier.issn 1799-4934 (ISSN-L)
dc.identifier.uri https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/16097
dc.description.abstract The Fabry-Perot interferometer (FPI) is a tunable optical band-pass filter. The realization with micro-electro mechanics (MEMS) technology enables high-volume production of miniature-size FPI at a low unit cost. Some ten-euro unit cost, few-millimeter square size, and millions of units fabrication volumes could characterize the industrial fabrication. The MEMS FPI is a key component of a miniature spectrometer. The gas-phase transmission infrared (IR) spectroscopy is applied in the detection and analysis of hydrocarbons, carbon dioxide and more complicated organic compounds. Application areas include medical, agriculture, automotive, gas security, and interior air quality, to name but a few. This work introduces a capacitively tunable surface-MEMS FPI for mid- and thermal IR. The unique feature is the Si/air/Si Bragg reflector (DBR) structure enabled by point-wise anchoring of tensile-stressed poly-Si films. The Si-air DBR enables narrower pass-band (better resolution) and more uniform tuning behavior over a wider tuning range. The founding technology of the MEMS FPI at VTT additionally provides a wide optical area and generally provides the uniform tuning performance. The improved performance is based on the work hypothesis of the Si-air DBR optical properties. Along with the proof of concept in this work, further benefits in the mechanical behavior of our structure were found. The work of the thesis covered the design of the concept, structure, and fabrication process for the novel MEMS FPI. Several wafers of multiple device designs were fabricated. Dozens of devices were characterized for the optical and electrical performance. In the early phase of the work, process-test wafer lots were fabricated for testing the sacrificial-layer composition, poly-Si implanting and the DBR structure, fabrication and performance. The publications, included in the thesis, concentrate on the dissemination of the designs of the best performance and of their structure and fabrication. The earlier test runs are not emphasized in the publications but the final conclusions are merely rephrased. A paper on the DBR demonstration, and another on the implanting optimization, report process-test results that supported the development of the fully functional device. The scope of the work covers the development from the idea until the proof of the concept. The scope is limited such that the devices reliability under environmental loads is discussed but not experimentally studied. en
dc.description.abstract Fabry-Perot interferometri (FPI) on säädettävä optinen kaistanpäästösuodin. Mikromekaaninen (MEMS) toteutus mahdollistaa hyvin pienen interferometrin massatuotannon ja alhaisen yksikköhinnan. Teolliselle tuotannolle tyypillinen yksikköhinta olisi kymmenen euron luokkaa, koko muutama neliömilli ja tuotantomäärä miljoonia yksiköitä MEMS FPI on pienikokoisen spektrometrin avainkomponentti. Kaasujen transmissiospektrometriaa infrapuna-aalloilla käytetään esimerkiksi hiilivetyjen, hiilidioksidin ja monimutkaisempien orgaanisten yhdisteiden havaitsemiseen ja analyysiin. Sovellusalueita ovat muun muassa lääketiede, maatalous, moottoriajoneuvot, kaasuturvallisuus ja sisäilman laatu. Tässä työssä kehitettiin kapasitiivisesti säädettävä pintamikromekaaninen FPI termisen infrapunan ja keski-infrapunan aallonpituusalueille. Ainutlaatuinen piirre on Braggin peilin (DBR) rakenne: Si/ilma/Si. DBR perustuu pistemäisesti ankkuroituihin polypiikalvoihin vetojännityksessä. Pii-ilma DBR:n avulla savutetaan kapeampi päästökaista (parempi resoluutio), tasaisempi suorituskyky säädettäessä ja laajempi säätöalue. Työ pohjautuu VTT:n pintamikromekaanisen FPI:n teknologiaan, jolla saavutetaan laaja optinen alue ja joka osaltaan takaa tasaisen suorituskyvyn säädössä. Suorituskyvyn parannus perustuu työhypoteesiin pii-ilma DBR:n optisista ominaisuuksista. Sen lisäksi että konsepti todennettiin, huomattiin myös etuja rakenteen mekaanisessa käytöksessä. Väitöskirjan työssä on suunniteltu uuden mikromekaanisen interferometrin konsepti, rakenne ja valmistusmenetelmä. Valmistettiin lukuisia kiekkoja, joissa oli useita erilaisia FPI-mitoituksia ja malleja. Optinen ja sähköinen suorituskyky mitattiin kymmenistä näytteistä. Työn alkuvaiheessa valmistettiin myös testikiekkoeriä, joilla tutkittiin uhrikerrosten koostumusta, polypiin istutusta sekä DBR:n rakennetta, valmistusta ja suorituskykyä. Väitöskirjan julkaisut keskittyvät parhaiten toimineisiin rakenteisiin ja niiden valmistukseen. Varhaisiin testiajoihin ei julkaisuissa keskitytä muuten kuin toteamalla niiden johtopäätökset. Toimivan laitteen kehitystä tukevien valmistustestien tuloksista käsiteltiin yhdessä artikkelissa DBR ja toisessa istutuksen optimointi. Väitöskirja kattaa kehitystyön alkaen ideasta aina siihen asti kun konsepti osoitettiin toimivaksi. Työstä on rajattu pois kokeellinen tutkimus interfero-metrin suorituskyvystä ympäristökuormituksessa, joskin odotuksista on keskusteltu. fi
dc.format.extent 97
dc.format.mimetype application/pdf en
dc.language.iso en en
dc.publisher Aalto University en
dc.publisher Aalto-yliopisto fi
dc.relation.ispartofseries Aalto University publication series DOCTORAL DISSERTATIONS en
dc.relation.ispartofseries 54/2015
dc.relation.haspart [Publication 1]: Tuohiniemi, Mikko; Blomberg, Martti. 2011. Surface-micromachined silicon air-gap Bragg reflector for thermal infrared. IOP Publishing. J. Micromech. Microeng., volume 21, issue 7, pages 075014 (7pp). ISSN 1361-6439. DOI 10.1088/0960-1317/21/7/075014.
dc.relation.haspart [Publication 2]: Tuohiniemi, Mikko; Blomberg, Martti; Akujärvi, Altti; Antila, Jarkko; Saari, Heikki. 2012. Optical transmission performance of a surface-micromachined Fabry–Pérot interferometer for thermal infrared. IOP Publishing. J. Micromech. Microeng., volume 22, issue 11, pages 115004 (7pp). ISSN 1361-6439. DOI 10.1088/0960-1317/22/11/115004.
dc.relation.haspart [Publication 3]: Tuohiniemi, Mikko; Näsilä, Antti; Mäkynen, Jussi. 2013. Characterization of the tuning performance of a micro-machined Fabry–Pérot interferometer for thermal infrared. IOP Publishing. J. Micromech. Microeng., volume 23, issue 7, pages 075011 (7pp). ISSN 1361-6439. DOI 10.1088/0960-1317/23/7/075011.
dc.relation.haspart [Publication 4]: Tuohiniemi, Mikko; Blomberg, Martti; Gao, Feng. 2013. Infrared Spectroscopy Study of a Poly-Silicon Film for Optimizing the Boron-Implanting Dose. IEEE. J. Microelectromech. S., volume 22, issue 5, pages 1207 - 1212. ISSN 1057-7157. DOI 10.1109/JMEMS.2013.2262580.
dc.relation.haspart [Publication 5]: Tuohiniemi, Mikko; Näsilä, Antti; Akujärvi, Altti; Blomberg, Martti. 2014. MOEMS Fabry-Pérot interferometer with point-anchored Si-air mirrors for middle infrared. IOP Publishing. J. Micromech. Microeng., volume 24, issue 9, pages 095019 (9pp). ISSN 1361-6439. DOI 10.1088/0960-1317/24/9/095019.
dc.subject.other Materials science en
dc.title Silicon-based surface micromachined interferometers for infrared wavelengths en
dc.title Piipohjaiset pintamikromekaaniset interferometrit infrapuna-aallonpituuksille fi
dc.type G5 Artikkeliväitöskirja fi
dc.contributor.school Kemian tekniikan korkeakoulu fi
dc.contributor.school School of Chemical Technology en
dc.contributor.department Materiaalitekniikan laitos fi
dc.contributor.department Department of Materials Science and Engineering en
dc.subject.keyword Fabry-Perot en
dc.subject.keyword MEMS en
dc.subject.keyword micromechanics en
dc.subject.keyword interferometer en
dc.subject.keyword silicon en
dc.subject.keyword mikromekaniikka fi
dc.subject.keyword interferometri fi
dc.subject.keyword pii fi
dc.identifier.urn URN:ISBN:978-952-60-6178-8
dc.type.dcmitype text en
dc.type.ontasot Doctoral dissertation (article-based) en
dc.type.ontasot Väitöskirja (artikkeli) fi
dc.contributor.supervisor Franssila, Sami, Prof., Aalto University, Department of Materials Science and Engineering, Finland
dc.opn Zappe, Hans, Prof., University of Freiburg, Germany
dc.date.dateaccepted 2015-03-18
dc.rev Solgaard, Olav, Prof., Stanford University, Ca., USA
dc.rev Wolffenbuttel, Reinoud F., Prof., Delft University of Technology, The Netherlands
dc.date.defence 2015-05-22


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search archive


Advanced Search

article-iconSubmit a publication

Browse

My Account