Atomikerroskasvatusreaktorin pulveripinnoituskapasiteetin määrittäminen



Title:	Atomikerroskasvatusreaktorin pulveripinnoituskapasiteetin määrittäminen Powder coating capasity of atomic layer deposition reactor
Author(s):	Vähä-Ojala, Timo
Date:	2014-12-15
Language:	fi
Pages:	66
Major/Subject:	Koneensuunnittelu
Degree programme:	Konetekniikan koulutusohjelma
Supervising professor(s):	Kuosmanen, Petri
Thesis advisor(s):	Holm, Niklas
Keywords:	ALD, flow, simulation, CFD
Location:	Archive
	OEVS yes
» Show full item record
Permanent link to this item: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201412233321 Email this Export to RefWorks QR Code Print BibTex Tweet