Modern fabrication techniques for nanostructures and photonic components

Abstract

This thesis introduces novel micro- and nanofabrication methods and their applications developed in Micronova, the clean room facilities of Aalto University. The work is performed with silicon, which is robust, stable, and easy to process material with good electrical and optical properties. The developed fabrication methods facilitate technologically challenging types of nanostructures and their fabrication on non-planar surfaces. The presented research consists of two parts. The first part is focused on nanofabrication, mostly via top-down fabrication approach. The second one describes the modification of photonic devices and waveguides by \mbox{atomic-layer-deposited} thin films. The three main types of processing involved in the thesis are: atomic layer deposition, exposure by focused ion beam, and dry etching. As a result of this study, several fabrication methods were developed. One of them utilizes focused ion beam lithography for nanofabrication on multilevel and strongly corrugated surfaces. This process has a great potential for general 3D integration and for micro- and nanofluidics. The same approach enables the fabrication of suspended nanostructures and gives a platform for accurate measurement of material properties and realization of lab-on-a-chip concepts. Another separately developed process is a grayscale lithography that provides a control over the height of patterned features at nanometer scale. It gives an effective way to fabricate miniature diffractive optics components for extreme ultraviolet and soft X-ray radiation. It also allows for new designs and improved performance of photonic grating couplers. Finally, the work shows how atomic layer deposition can be used to tune the operational parameters of photonic components. In particular, the dispersion properties of photonic nanostrip waveguides were optimized, and micro ring resonators were tuned towards polarization-independent regime in a broad wavelength range. In summary, the work extends the applications of nanotechnology for sensing and integrated optics. The shown nanofabrication methods provide fast prototyping due to the minimized number of process steps. Atomic layer deposition of thin films was demonstrated to be very effective for tuning of photonic waveguides and devices. The presented techniques and methods have a showcase character and provide a room for further research focused on other materials and applications.

Tässä väitöskirjassa tarkastellaan Aalto-yliopiston Micronova-puhdastilaympäristössä kehitettyjä uusia mikro- ja nanotekniikan valmistusmenetelmiä ja niiden sovelluksia. Valmistusmateriaaliksi valittiin pii, koska se on kestävä ja stabiili materiaali, jolla on suotuisat sähköiset ja optiset ominaisuudet ja jota on verrattain helppo prosessoida. Työ koostuu kahdesta osasta. Ensimmäinen osa käsittelee nanovalmistusta, pääosin ns. "topdown"-valmistustekniikoita, joihin kuuluu menetelmiä, joilla materiaalia poistetaan ennalta suunnitellun kuvion mukaisesti. Toisessa osassa tutkitaan fotoniikan komponenttien ominaisuuksien räätälöintiä atomikerroskasvatettujen ohutkalvojen avulla. Tässä tutkimustyössä on kolme keskeistä prosessia: atomikerroskasvatus, fokusoidun ionisuihkun avulla suoritettu kuviointi ja kuivaetsaus. Tutkimuksen tuloksena on kehitetty useita piimateriaalin muokkaamiseen tarkoitettuja valmistusmenetelmiä. Merkittävä osa tuloksista saatiin hyödyntämällä fokusoidun ionisuihkun (FIB) avulla suoritettua litografiaa, jolloin oli mahdollista saada aikaan nanorakenteita myös epätasaisille ja kalteville pinnoille. Tätä prosessia voi hyödyntää sekä 3Dintegraatiossa että mikro- ja nanofluidistiikassa. Samoja periaatteita voidaan soveltaa myös vapautettujen nanorakenteiden valmistamiseen. Tämäntyyppisiä rakenteita käytetään mm. materiaalien ominaisuuksien tutkimuksissa ja "lab-on-a-chip"- sovelluksissa. Tutkimuksessa on myös kehitetty fokusoidun ionisuihkun käyttöön perustuva ns. "harmaasävy"- litografia, jolla kyetään aikaansaamaan erilaisia nanorakenteiden korkeusprofiileja. Tätä menetelmää voi käyttää pienten integroitujen diffraktiivisen optiikan komponenttien valmistukseen, jotka toimivat ultraviolettiaallonpituuksilla. Työssä kehitetty litografia mahdollistaa uuden tavan tehdä piipohjaisia fotoniikan hilakytkimiä. Lisäksi tässä väitöskirjassa esitellään tapoja käyttää atomikerroskasvatusta fotoniikassa aaltojohteiden ja mikroresonaattorien virittämiseen esimerkiksi siten, että niiden toiminta on polarisaatiosta riippumatonta. Tässä työssä saavutetut tulokset laajentavat nanoteknologian mahdollisuuksia sekä nanorakenteiden valmistamisessa että optiikan sovelluksissa. Kehitetyissä valmistusmenetelmissä prosessivaiheiden määrä on minimoitu, joten ne sopivat erityisesti prototyyppien valmistamiseen. Työssä esitetään myös suuntaviivoja miten näitä kehitettyjä perustekniikoita voisi jatkossa edelleen tehostaa.