Atomikerrosepitaksialla valmistettujen ohutkalvojen seosainepitoisuuksien määritys sekundääri-ionimassaspektrometrialla



Title:	Atomikerrosepitaksialla valmistettujen ohutkalvojen seosainepitoisuuksien määritys sekundääri-ionimassaspektrometrialla Determination of dopant concentrations by secondary ion mass spectrometry in thin films deposited by atomic layer epitaxy
Author(s):	Lehto, Sari
Date:	1995
Language:	fi
Pages:	v + 54 s. + liitt.
Department:	Prosessi- ja materiaalitekniikan osasto
Major/Subject:	Epäorgaaninen kemia
Supervising professor(s):	Niinistö, Lauri
	OEVS yes
» Show full item record
Permanent link to this item: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-202104144777 Email this Export to RefWorks QR Code Print BibTex Tweet