Mechanical behaviour of diamond-like carbon film in microsystems



Title:	Mechanical behaviour of diamond-like carbon film in microsystems Timantinkaltaisen hiilipinnoitteen mekaaninen käyttäytyminen mikrosysteemeissä
Author(s):	Siirola, Saara
Date:	2012
Language:	en
Pages:	76 s. + liitt. 16
Department:	Materiaalitekniikan laitos
Major/Subject:	Materiaalitiede
Supervising professor(s):	Franssila, Sami
Thesis advisor(s):	Kilpinen, Petteri
Keywords:	amorphous carbon, timantinkaltainen hiili, diamond-like carbon, DLC, microsystems, MEMS
Location:	Archive
	OEVS yes
Digitized thesis:	ask
» Show full item record
Permanent link to this item: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020122859436 Email this Export to RefWorks QR Code Print BibTex Tweet